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本公开提供了一种铪基铁电器件及其性能调控方法，可以应用于铁电薄膜改性技术领域。该器件包括：衬底层；位于衬底层上的底电极层；位于底电极层上的铪基铁电薄膜，其中，铪基铁电薄膜的矫顽电场强度参数由粒子束辐照调节得以改进的；以及位于铪基铁电薄膜上的...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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