下载用于仿生体的触觉感知装置的技术资料

文档序号:45038404

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提供了用于仿生体的触觉感知装置,包括半导体晶片与触觉感知结构;所述触觉感知结构包括力传递结构与触觉感知微纳结构阵列,所述触觉感知微纳结构阵列包括多个触觉感知微纳结构;所述半导体晶片的顶层金属层形成多个金属区域,所述多个金属区域的多个第一金属...
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