用于仿生体的触觉感知装置制造方法及图纸

提供了用于仿生体的触觉感知装置，包括半导体晶片与触觉感知结构；所述触觉感知结构包括力传递结构与触觉感知微纳结构阵列，所述触觉感知微纳结构阵列包括多个触觉感知微纳结构；所述半导体晶片的顶层金属层形成多个金属区域，所述多个金属区域的多个第一金属区域作为电极阵列，所述电极阵列包括多个电极；所述多个电极的每个电极对应于所述多个触觉感知微纳结构之一；所述力传递结构具有第一轮廓，所述第一轮廓使得所述触觉感知装置具有仿生体或仿生体的局部的形状；所述多个电极与所述触觉感知结构形成多个第一电容。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及感知技术，具体地，涉及用于仿生体的触觉感知装置。

技术介绍

1、触觉是对接触、滑动、压觉等一种或多种机械刺激的感知能力的总称。一些情况下，也希望触觉包括对冷热、接近、光照的感知。因而狭义的触觉可以仅指对接触面上的力的感知，而广义的触觉包括压力、滑动、接触、冷热、接近等物理特征或事件的感知。感知相对量而无需感知绝对值也是触觉的特征之一。例如触觉需要感知皮肤与外部物体接触(也包括压力的大小)，但无需知晓物体作用在皮肤上的具体数值。这使得触觉传感器需要感知物理量的变化而无需知晓其绝对值。

2、多数动物的触觉感受器是遍布全身的，像人类皮肤位于人的体表，并且遍布全身。例如皮肤的大部分部分能感知针刺，即得益于触觉感受器在皮肤中的密集分布。不同部位的皮肤对不同物体的触觉不一样，这是因为不同触觉感受器分布的数量和种类不同。

3、触觉传感器的原理，主要有电阻、电容、压电、热电磁、磁电、力、光、超声和电阻应变等。

4、触觉传感器大体上包括感知(也称感测)与信息处理两部分。感知部分将要感知的物理量转化为例如电信号，信息处理部分处理电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于仿生体的触觉感知装置，包括半导体晶片与触觉感知结构；

2.根据权利要求1所述的触觉感知装置，其中，

3.根据权利要求2所述的触觉感知装置，其中，

4.根据权利要求1-3之一所述的触觉感知装置，其中，

5.根据权利要求1-4之一所述的触觉感知装置，其中，

6.根据权利要求5所述的触觉感知装置，其中，

7.根据权利要求5或6所述的触觉感知装置，其中，

8.根据权利要求7所述的触觉感知装置，其中，

9.根据权利要求8所述的触觉感知装置，其中，

10.根据权利要求7-9所述的触...

【技术特征摘要】

1.一种用于仿生体的触觉感知装置，包括半导体晶片与触觉感知结构；

2.根据权利要求1所述的触觉感知装置，其中，

3.根据权利要求2所述的触觉感知装置，其中，

4.根据权利要求1-3之一所述的触觉感知装置，其中，

5.根据权利要求1-4之一所述的触觉感知装置，其中，

6.根据权利要求5所述的触觉感知装置，其中，

7.根据权利要求5或6所述的触觉感知装置，其中，

8.根据权利要求7所述的触觉感知装置，其中，

9.根据权利要求8所述的触觉感知装置，其中，

10.根据权利要求7-9所述的触觉感知装置，其中，

11.根据权利要求7-10所述的触觉感知装置，其中，

12.根据权利要求5-11所述的触觉感知装置，其中，

13.根据权利要求5-12所述的触觉感知装置，其中，

14.根据权利要求1-4之一所述的触觉感知装置，其中，

15.根据权利要求14所述的触觉感知装置，其中，

16.根据权利要求15所述的触觉感知装置，其中，

17.根据权利要求14-16之一所述的触觉感知装置，其中，

18.根据权利要求14-17之一所述的触觉感知装置，其中，

19.根据权利要求18所述的触觉感知装置，其中，

20.根据权利要求18或19所述的触觉感知装置，其中，

21.根据权利要求20所述的触觉感知装置，其中，

22.根据权利要求18-21之一所述的触觉感知装置，其中，

23.根据权利要求18-22之一所述的触觉感知装置，其中，

24.根据权利要求14-17之一所述的触觉感知装置，其中，

25.根据权利要求24所述的触觉感知装置，其中，

26.根据权利要求24或25所述的触觉感知装置，其中，

27.根据权利要求24-26之一所述的触觉感知装置，其中，

28.根据权利要求14-17之一所述的触觉感知装置，其中，

29.根据权利要求28所述的触觉感知装置，其中，

30.根据权利要求28或29所述的触觉感知装置，其中，

31.根据权利要求14-17之一所述的触觉感知装置，其中，

32.根据权利要求14-17之一所述的触觉感知装置，其中，

33.根据权利要求34所述的触觉感知装置，其中，

34.根据权利要求14-17之一所述的触觉感知装置，其中，

35.根据权利要求1-4之一所述的触觉感知装置，其中，

36.根据权利要求35所述的触觉感知装置，其中，

37.根据权利要求1-36所述的触觉感知装置，其中，

38.根据权利要求1-37之一所述的触觉传感器芯片，其中

39.根据权利要求38所述的触觉传感器芯片，其中

40.根据权利要求38或39所述的触觉传感器芯片，其中

41.根据权利要求38-40之一所述的触觉传感器芯片，其中

42.根据权利要求1-37之一所述的触觉传感器芯片，其中

43.根据权利要求1-42之一所述的触觉感知装置，还包括柔性包裹结构，

44.根据权利要求43所述的触觉感知装置，其中

45.根据权利要求43或44所述的触觉感知装置，其中

46.根据权利要求43或44所述的触觉感知装置，其中

47.根据权利要求43-46之一所述的触觉感知装置，其中，

48.根据权利要求43-47之一所述的触觉感知装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾凡佑，孙滕谌，张大华，
申请(专利权)人：北京他山科技有限公司，
类型：发明
国别省市：