下载一种键合对准装置及方法的技术资料

文档序号:45036132

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本发明公开一种键合对准装置及方法,键合对准装置包括:第一工作台,包括第一表面,用于固定第一待对准件;第二工作台,包括第二表面,用于固定第二待对准件,且第二表面和第一表面沿第一方向相对且间隔设置;间隙调节机构,用于沿第一方向调节第二表面与第一...
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