下载一种粒子压痕对焦机构及对焦方法的技术资料

文档序号:45035820

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本发明公开一种粒子压痕对焦机构及对焦方法,线扫驱动组件和检测组件,检测组件移动连接于线扫驱动组件;检测组件包括沿粒子压痕检测移动方向平行设置的测距装置和粒子检测相机,测距装置位于粒子检测相机移动方向的前方,粒子检测相机的视野中心与粒子压痕上...
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