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本申请实施例公开了一种萃盘夹取机构及其搬运装置，涉及芯片生产设备技术领域。其中，盘夹取机构包括安装架、驱动件、第一夹持件和第二夹持件，搬运装置包括萃盘夹取机构和移动机构。通过本申请实施例，在拆装萃盘时，移动机构带动萃盘夹取机构移动至被夹持件...
该专利属于捷螺智能设备（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷螺智能设备（苏州）有限公司授权不得商用。

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