下载一种类金刚石防护涂层及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:45035166

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本发明属于硬质薄膜技术领域,具体涉及一种类金刚石防护涂层及其制备方法和应用。本发明提供的类金刚石防护涂层的制备方法包括以下步骤:在柔性聚合物基材表面进行等离子气相物理沉积,形成类金刚石防护涂层;所述等离子气相物理沉积的条件包括:靶基距为15...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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