下载用于ECR离子源的等离子体电极孔调节机构及调节方法的技术资料

文档序号:45035015

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本发明公开了一种用于ECR离子源的等离子体电极孔调节机构及调节方法,所述等离子体电极孔调节机构包括基座,基座的外周用于与ECR离子源的电极腔室的束流引出端固定连接;基座的中心开设有第一引出孔;基座上活动连接有控制遮蔽机构,控制遮蔽机构能够在...
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