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本发明公开了一种用于ECR离子源的等离子体电极孔调节机构及调节方法,所述等离子体电极孔调节机构包括基座,基座的外周用于与ECR离子源的电极腔室的束流引出端固定连接;基座的中心开设有第一引出孔;基座上活动连接有控制遮蔽机构,控制遮蔽机构能够在...该专利属于中子科学(重庆)研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中子科学(重庆)研究院有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于ECR离子源的等离子体电极孔调节机构及调节方法,所述等离子体电极孔调节机构包括基座,基座的外周用于与ECR离子源的电极腔室的束流引出端固定连接;基座的中心开设有第一引出孔;基座上活动连接有控制遮蔽机构,控制遮蔽机构能够在...