【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子回旋共振离子源，具体涉及一种用于ecr离子源的等离子体电极孔调节机构及调节方法。
技术介绍
1、电子回旋共振(ecr)离子源是一种能够产生强流单价态离子束的重要设备。它利用微波与磁场的相互作用，在特定的区域内使电子发生回旋共振并被加热，进而通过电子与中性原子或分子的碰撞实现电离，产生离子束。ecr离子源具有离子束流强高、束流品质好等优点，在核物理研究、材料科学、医学等众多领域都有着广泛的应用。
2、在ecr离子源中，等离子体电极起着关键的作用。其设计和性能直接决定了引出离子束的强度、束流稳定性。合理的等离子体电极结构可以有效地降低引出过程中的空间电荷效应，提高离子引出效率。此外，ecr离子源等离子体电极可以影响引出离子束的能量分布、发射度以及束流稳定性等参数。通过调整等离子体电极孔径的形状、尺寸等参数可以改善引出离子束的汇聚性能，降低束流的发散度，提高束流的稳定性。
3、目前，国内外ecr离子源等离子体电极孔都为固定式结构，在需要对等离子体电极孔径进行调整的情况下，尤其是利用ecr离子源进行实验...
【技术保护点】
1.一种用于ECR离子源的等离子体电极孔调节机构，其特征在于，包括基座，所述基座的外周用于与ECR离子源的电极腔室的束流引出端固定连接；所述基座的中心开设有第一引出孔，所述第一引出孔用于引出等离子体束流；所述基座上活动连接有控制遮蔽机构，所述控制遮蔽机构能够在外力驱动下运动至第一位置或第二位置；所述控制遮蔽机构能够在第一位置实现第一引出孔的全部露出；所述控制遮蔽机构能够在第二位置对第一引出孔部分遮蔽并形成第二引出孔，所述第二引出孔的轴向中心线与所述第一引出孔的轴向中心线重合，所述第二引出孔的孔径小于第一引出孔的孔径。
2.根据权利要求1所述的用于ECR离子...
【技术特征摘要】
1.一种用于ecr离子源的等离子体电极孔调节机构，其特征在于，包括基座，所述基座的外周用于与ecr离子源的电极腔室的束流引出端固定连接；所述基座的中心开设有第一引出孔，所述第一引出孔用于引出等离子体束流；所述基座上活动连接有控制遮蔽机构，所述控制遮蔽机构能够在外力驱动下运动至第一位置或第二位置；所述控制遮蔽机构能够在第一位置实现第一引出孔的全部露出；所述控制遮蔽机构能够在第二位置对第一引出孔部分遮蔽并形成第二引出孔，所述第二引出孔的轴向中心线与所述第一引出孔的轴向中心线重合，所述第二引出孔的孔径小于第一引出孔的孔径。
2.根据权利要求1所述的用于ecr离子源的等离子体电极孔调节机构，其特征在于，所述控制遮蔽机构包括转盘、拼合叶和传动机构，所述转盘的旋转面与所述第一引出孔的孔截面平行设置，所述转盘与所述基座转动连接；所述转盘与所述传动机构传动连接；所述传动机构自所述电极腔室外部伸入所述电极腔室内部，所述传动机构能够被外力驱动并带动所述转盘正转或反转，进而使所述控制遮蔽机构在第一位置和第二位置之间切换。
3.根据权利要求2所述的用于ecr离子源的等离子体电极孔调节机构，其特征在于，所述转盘上开设有多个滑道，各个滑道倾斜设置，各个滑道以所述转盘的盘面中心为圆心呈中心对称分布；所述拼合叶有多个且数量与所述滑道对应，所述拼合叶包括第一端、第二端和第三端，各个所述拼合叶的第一端分别滑动连接于对应的所述滑道内；各个所述拼合叶的第二端分别转动连接于所述基座；各个所述拼合叶的第一端在所述滑道内滑动时，各个所述拼合叶的第三端能够分别以对应的所述第二端为圆心转动，使所述控制遮蔽机构在第一位置和第二位置之间切换。
4.根据权利要求3所述的用于ecr离子源的等离子体电极孔调节机构，其特征在于，所述基座的中心位置处具有突出部，所述突出部的延伸方向与所述第一引出孔轴向平行，所述第一引出孔位于所述突出部的中心位置；所述转盘转动连接于所述突出部的外周，各个所述拼合叶的第二端分别转动连接于所述突出部；所述转盘的盘面与基座之间具有间隙。
5.根据权利要求1至4中任意一项权利要求所述的用于ecr离子源的等离子体电极孔调节机构，其特征在于，所述第一引出孔的...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：中子科学重庆研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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