温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种LPCVD炉管预处理方法和太阳能电池生产方法，所述预处理方法将饱和炉管分为了两次，对应的吹扫炉管也分为两次，即第一次饱和‑第一次氮气吹扫‑第二次饱和‑第二次氮气吹扫。此过程中，第一次饱和后未分解的硅烷多，第一次氮气吹扫则能够去...
该专利属于四川东磁新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川东磁新能源科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。