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本申请公开了一种横向激励体声波谐振器及其制备方法,横向激励体声波谐振器包括衬底以及依次层叠于衬底上的第一布拉格反射结构、压电层、叉指电极和第二布拉格反射结构,所述第一布拉格反射结构包括交替堆叠的第一高声阻抗层和第一低声阻抗层;所述第二布拉格...该专利属于云际芯光(珠海)微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云际芯光(珠海)微电子有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种横向激励体声波谐振器及其制备方法,横向激励体声波谐振器包括衬底以及依次层叠于衬底上的第一布拉格反射结构、压电层、叉指电极和第二布拉格反射结构,所述第一布拉格反射结构包括交替堆叠的第一高声阻抗层和第一低声阻抗层;所述第二布拉格...