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在真空中加工基片的内联式真空加工装置，包括至少一个装载－锁定腔（１０），用基本相同的涂覆参数组进行操作的至少两个连续沉积腔（４－７）以及至少一个卸载－锁定腔（１０），再加上用于传送、后加工和／或操纵基片通过并位于各个腔室内的装置。一种用于在...该专利属于奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。
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在真空中加工基片的内联式真空加工装置，包括至少一个装载－锁定腔（１０），用基本相同的涂覆参数组进行操作的至少两个连续沉积腔（４－７）以及至少一个卸载－锁定腔（１０），再加上用于传送、后加工和／或操纵基片通过并位于各个腔室内的装置。一种用于在...