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本发明涉及一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷的制备方法，通过优化冷冻干燥等工艺参数，以水生成的冰晶作为模板，成功得到了具有均匀孔隙结构、孔隙率和孔径可调、密度小、强度大的多孔陶瓷；本发明还采用氧化铝粉体、增塑剂、分散剂、粘结剂、脱泡剂、增稠剂...
该专利属于湖北芯陶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北芯陶科技有限公司授权不得商用。

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