下载MEMS传感器和电子雾化装置的技术资料

文档序号:45025455

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种MEMS传感器和电子雾化装置,MEMS传感器包括衬底、基板、第一极板、第二极板和导电触点;衬底的第一表面具有凹槽,衬底的第二表面具有惠斯通电桥电路,惠斯通电桥电路的桥臂包括压敏电阻;基板覆盖凹槽以形成密封腔体;第一极板,设置...
该专利属于爱奇迹创造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱奇迹创造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。