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一种MPCVD密封结构，包括反应腔体和波导腔体，反应腔体通过连接环与波导腔体连通，反应腔内设置有一天线，天线的上端连接有一连杆，连杆穿过连接环和波导腔体并伸出波导腔体外，天线的上端和反应腔体的内腔上端还分别设有位置对应的下胶圈和上胶圈，上胶...
该专利属于郑州势垒科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州势垒科技有限公司授权不得商用。

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