【技术实现步骤摘要】
本技术涉及mpcvd设备，特别涉及一种mpcvd密封结构。
技术介绍
1、在金刚石生产过程中，mpcvd法被认为是生产高品质金刚石的最好方法之一。微波通过波导传播，在同轴天线的作用下，在石英环、天线、腔体组成密封腔体内产生等离子体，离子体使充入的工艺气体发生化学气相沉积，进而生产出金刚石类产品。
2、传统的mpcvd设备通常是设置有一石英环(即石英窗口)，石英环两端分别设置有基片台(即铜盘)和腔体底板，在石英环与基片台接触的部分以及石英环与腔体底板接触的部分设置有密封平垫，以使得石英环内形成封闭的腔室。其中还设置有贯穿腔体底板的天线，需要是石英与天线及反应腔上的胶圈进行贴合密封，以此来保证反应腔室的密封性，现在通常都是在天线的另一端设置张紧弹簧，在张紧弹簧的弹力作用下，天线远离基片台的一端具有向外伸长的趋势，进而使得基片台和石英环之间紧密结合，石英环和腔体底板之间也紧密结合，但是由于张紧弹簧在使用的过程中会是的弹簧的弹性变差，所以会使得密封的机构不能够达到较好的密封效果，所以需要能够仅凭借张紧弹簧进行密封的效果不好，所以还需要采用额外的调节结构来进行密封。
3、所以需要一种mpcvd密封结构来解决此问题。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本技术之目的就是提供一种mpcvd密封结构，有效的解决了上述问题。
2、其解决的技术方案是，本技术包括反应腔体和波导腔体，反应腔体通过连接环与波导腔体连通，反应腔内设置有一天线，天线的上端连
3、进一步的，所述的弹簧套装在连杆上。
4、进一步的，所述的固定锁紧上环的上端转动安装有一外齿环，每个调节螺钉上均安装有一行星轮，连杆上转动安装有一太阳轮，每个行星轮同时与太阳轮和外齿环啮合。
5、本技术的有益效果是：
6、1.通过弹簧的作用，天线被向上拉伸，使得石英封闭环与上胶圈和下胶圈之间紧密结合，从而显著提高了反应腔体的密封性能。这种设计不仅保证了反应腔体的真空环境，同时也确保了微波传输的密封性，避免了微波泄露。
7、2.通过调节螺钉的设计，可以方便地调节固定锁紧上环与调节锁紧下环之间的间隙，从而实现对天线拉伸程度的稳固调节，从而保证反应腔体的密封性
8、3.采用了太阳轮、行星轮和外齿环的行星齿轮组合结构，可以实现同时对所有调节螺钉进行同步调节，这种设计不仅简化了调节过程，提高了调节效率，同时也增强了结构的稳定性和可靠性。
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1.一种MPCVD密封结构，包括反应腔体(1)和波导腔体(2)，反应腔体(1)通过连接环与波导腔体(2)连通，反应腔内设置有一天线(3)，天线(3)的上端连接有一连杆(4)，连杆(4)穿过连接环和波导腔体(2)并伸出波导腔体(2)外，其特征在于，天线(3)的上端和反应腔体(1)的内腔上端还分别设有位置对应的下胶圈(5)和上胶圈(6)，上胶圈(6)和下胶圈(5)内安装有石英封闭环(7)，连杆(4)伸出波导腔体(2)的一端固定安装有一固定锁紧上环(8)，连杆(4)上滑动设置有一位于固定锁紧上环(8)与波导腔体(2)之间的调节锁紧下环(9)，调节锁紧下环(9)与波导腔体(2)之间还有一弹簧(10)，弹簧(10)的两端分别与调节锁紧下环(9)的下端与波导腔体(2)上端连接，调节锁紧下环(9)上还转动安装有多个调节螺钉(11)，调节螺钉(11)与固定锁紧上环(8)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD密封结构，其特征在于，所述的弹簧(10)套装在连杆(4)上。
3.根据权利要求1所述的一种MPCVD密封结构，其特征在于，所述的固定锁紧上环(8)的上端转动
...【技术特征摘要】
1.一种mpcvd密封结构，包括反应腔体(1)和波导腔体(2)，反应腔体(1)通过连接环与波导腔体(2)连通，反应腔内设置有一天线(3)，天线(3)的上端连接有一连杆(4)，连杆(4)穿过连接环和波导腔体(2)并伸出波导腔体(2)外，其特征在于，天线(3)的上端和反应腔体(1)的内腔上端还分别设有位置对应的下胶圈(5)和上胶圈(6)，上胶圈(6)和下胶圈(5)内安装有石英封闭环(7)，连杆(4)伸出波导腔体(2)的一端固定安装有一固定锁紧上环(8)，连杆(4)上滑动设置有一位于固定锁紧上环(8)与波导腔体(2)之间的调节锁紧下环(9)，调节锁紧下环(9)与波导腔体(2)之间还有...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭森森，许坤，曾献伟，许成志，
申请(专利权)人：郑州势垒科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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