下载半导体光元件阵列的技术资料

文档序号:45020487

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

在本公开中,提供一种半导体光元件阵列,其包含:半导体基板;掩膜层,其配置于上述半导体基板的主表面,具有开口部;纳米柱,其自上述半导体基板经由上述开口部沿厚度方向延伸,为III族氮化物半导体的柱状结晶;发光层,其配置于上述纳米柱的前端;以及覆...
该专利属于大日本印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本印刷株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。