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半导体光元件阵列制造技术
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下载半导体光元件阵列的技术资料
文档序号:45020487
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在本公开中,提供一种半导体光元件阵列,其包含:半导体基板;掩膜层,其配置于上述半导体基板的主表面,具有开口部;纳米柱,其自上述半导体基板经由上述开口部沿厚度方向延伸,为III族氮化物半导体的柱状结晶;发光层,其配置于上述纳米柱的前端;以及覆...
该专利属于大日本印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本印刷株式会社授权不得商用。
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