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本技术公开了一种应用于反应式等离子体镀膜设备的新型气路结构，包括箱体，箱体背面设置有电子枪，箱体的内部设有工艺腔，喷射组件包括多个设置在箱体工艺腔内壁的工艺气管以及可拆卸设置在箱体工艺腔内壁的缓冲器，拆卸组件设置在缓冲器和箱体之间，用于对缓...
该专利属于仁烁光能（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过仁烁光能（苏州）有限公司授权不得商用。

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