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一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法技术
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文档序号:44990045
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本申请属于光学测量相关技术领域,具体公开了一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法。本申请首先将装调的过程分为多步调制态;初步调制态为偏振元件间相对零度的状态,终步调制态为测量时的状态,中间多步调制态依次为由初步调制态到终步调制态的多个中间状态...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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