【技术实现步骤摘要】
本申请属于光学测量相关，更具体地，涉及一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法。
技术介绍
1、随着制造工艺的不断精进，半导体制造技术节点不断减小，ic器件正面临着小型化、便携式、高速度、低功耗的发展趋势带来的严峻考验。在半导体生产制造过程中，薄膜的厚度与光学参数是影响器件性能的重要因素，椭偏测量技术已成为事实上薄膜参数测量的标准技术，宽光谱快照式椭偏仪因其无运动器件、体积紧凑，兼具测量速度和精度，具有广阔的应用前景。保证其测量精度的基础是光学元件特定方位角的精确安装和标定，因此需要开发一种可以快速、精确的装调标定宽光谱快照式椭偏仪的技术方法。
2、目前，宽光谱快照式椭偏仪中涉及安装角度的光学元件有偏振片和多级波片，其安装依赖带有微分头的镜片安装架，通过安装架的刻度线进行元件方位角的调整；或者使用偏振仪等额外的仪器对元件安装角度进行测量调整，总结来说，装调过程中存在以下的问题：（1）光学元件的光轴角度难以与刻度线对准；（2）观察刻度线的方式用以方位角调整难以保证精度；（3）带有微分头的安装架体积较大，难以发挥宽光谱快照式椭偏仪体...
【技术保护点】
1.一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装调标定方法，其特征在于，所述调制态具体为椭偏仪中所有偏振元件的角度组合；在不同调制态下，椭偏仪以不同状态调制生成偏振光，同时以不同状态解调。
3.根据权利要求1所述的装调标定方法，其特征在于，所述光谱信号为光谱仪在波数域均匀采样得到的信号；所述通道分布为对光谱信号进行傅里叶变换后得到的光程差域上的一系列傅里叶系数。
4.根据权利要求1或3所述的装调标定方法，其特征在于，所述光谱信号具体为：
5.根据权利要求1或3所述的装调标定方法，其...
【技术特征摘要】
1.一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装调标定方法，其特征在于，所述调制态具体为椭偏仪中所有偏振元件的角度组合；在不同调制态下，椭偏仪以不同状态调制生成偏振光，同时以不同状态解调。
3.根据权利要求1所述的装调标定方法，其特征在于，所述光谱信号为光谱仪在波数域均匀采样得到的信号；所述通道分布为对光谱信号进行傅里叶变换后得到的光程差域上的一系列傅里叶系数。
4.根据权利要求1或3所述的装调标定方法，其特征在于，所述光谱信号具体为：
5.根据权利要求1或3所述的装调标定方法，其特征在于，所述通道分布具体为：
6.根据权利要求1所述的装调标定方法，其特征在于，按每步调制态的状态逐步装调椭偏仪，使得每步调制态下的实际光谱信号的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈修国，杨世龙，胡静，陈文龙，王逸夫，刘世元，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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