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本技术提供了一种硅烷气余热锅炉，目的是解决现有多晶硅生产领域硅烷气余热利用不高效的技术问题。本申请的热交换炉内由上至下通过第一隔板而分成壳程不互通的升温段和蒸发段。热交换炉管程为硅烷气通道。硅烷气由升温段经蒸发段流出。升温段壳程用于氢化气的...
该专利属于内蒙古通威硅能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古通威硅能源有限公司授权不得商用。

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