一种硅烷气余热锅炉制造技术

本技术提供了一种硅烷气余热锅炉，目的是解决现有多晶硅生产领域硅烷气余热利用不高效的技术问题。本申请的热交换炉内由上至下通过第一隔板而分成壳程不互通的升温段和蒸发段。热交换炉管程为硅烷气通道。硅烷气由升温段经蒸发段流出。升温段壳程用于氢化气的流通升温。蒸发段壳程用于锅炉水的流通升温。气液分离罐设有锅炉水入口管道和蒸汽出口管道。蒸汽出口管道与氯硅烷预热器连接。气液分离罐通过连接管组与蒸发段壳程匹配连接，用于蒸发段壳程锅炉水的供予及气液分离罐内气液分离的实现。通过将升温段和蒸发段耦合在一个热交换炉内，使炉内通入的硅烷气先后与氢化气、锅炉水进行了换热，从而使硅烷气的余热得到充分的利用。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于多晶硅生产，具体涉及一种硅烷气余热锅炉。

技术介绍

1、在现阶段主流的多晶硅生产工艺中，氢化炉是多晶硅生产中的核心设备，其原理是在高压击穿高纯硅芯的同时，持续向氢化炉内通入高纯氢气和氯硅烷，以使1100℃氢气还原氯硅烷生成单质硅并沉积在硅芯表面。

2、由于氯硅烷在常态下为液态，故在氢化反应之前，需要预先将氯硅烷通入硅烷预热器加热至反应温度。传统的硅烷预热器通常采用水蒸气换热介质以保证预热效果。该水蒸气通常为利用电力或火力直接将水加热后的产物。然而这种方式对能耗量要求很高，且能源利用不高效。

3、再者，氢化反应结束后会产生大量的高温硅烷气，如果直接排放会造成热能浪费和环境污染。目前，有采用水解碱吸收法将硅烷废气经过10％naoh溶液洗涤等后续处理工序后，再使余气经烟囱排放。然而此方法不仅造成了大量氯硅烷余热的浪费，而且对洗涤冷液量的需求很大。但若在水解碱吸收之前先通过多个冷凝换热器对硅烷气进行降温，再通过洗涤塔洗涤，这无疑增加了设备的数量，使生产成本增大。

技术实现思路

1、本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述硅烷气余热锅炉包括：

2.根据权利要求1所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述升温段通过第二隔板而分隔成预热段和加热段；所述预热段设于所述加热段下方；

3.根据权利要求2所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述电加热器与氢化炉连接。

4.根据权利要求1所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，蒸发段管程出口与洗涤系统通过喷淋管道连接；所述喷淋管道处设有第二调节阀。

5.根据权利要求1~4任意一种所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述蒸汽出口管道设有压力调节阀；所述锅炉水入口管道设于所述气液分离罐近底端处，所述锅...

【技术特征摘要】

1.一种硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述硅烷气余热锅炉包括：

2.根据权利要求1所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述升温段通过第二隔板而分隔成预热段和加热段；所述预热段设于所述加热段下方；

3.根据权利要求2所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述电加热器与氢化炉连接。

4.根据权利要求1所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，蒸发段管程出口与洗涤系统通过喷淋管道连接；所述喷淋管道处设有第二调节阀。

5.根据权利要求1~4任意一种所述的硅烷气余热锅炉，其特征在于，所述蒸汽出口管道设有压力调节阀；所述锅炉水入...

【专利技术属性】
技术研发人员：金国栋，王云鹏，董金飞，李永博，王磊，郭乐，王琪琪，
申请(专利权)人：内蒙古通威硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：