下载半导体器件的制作方法及半导体器件的技术资料

文档序号:44973553

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本申请公开了一种半导体器件的制作方法及半导体器件,属于半导体技术领域。该半导体器件的制作方法包括:提供基底以及位于所述基底上的介质层,所述基底包括导电结构;形成贯穿所述介质层的接触结构,且所述接触结构的底部与所述导电结构连接;采用惰性气体,...
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