下载半导体封装缺陷自动检测系统及方法的技术资料

文档序号:44967327

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本发明公开了半导体封装缺陷自动检测系统及方法,涉及半导体封装检测技术领域。包括:根据封装体分布集,提取第d封装体;根据半导体封装显性缺陷检测通道对第d封装体进行多特征显性缺陷检测,获得第d显性缺陷检测结果;对第d封装体进行电学性能缺陷检测,...
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