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本发明提供了一种钛酸镁薄膜及其制备方法和应用，涉及钛铁矿型氧化物材料技术领域。本发明提供的钛酸镁薄膜的制备方法，采用磁控溅射技术结合热处理工艺，先在氧化镁基片上沉积TiN薄膜，再通过优化热处理工艺参数使氧化镁基片中的Mg在热处理过程中扩散到...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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