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本发明在一个方式中提供一种保存稳定性优异的蚀刻液组合物。本发明在一个方式中涉及一种蚀刻液组合物，其用于蚀刻包含至少1种金属的被蚀刻层，上述蚀刻液组合物包含硝酸、数均分子量为300以上的多元胺、分子量小于300的含氮碱性化合物、及水。...
该专利属于花王株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过花王株式会社授权不得商用。

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