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本实用新型提出一种机台工作状态指示装置，包括：机械手原始位置传感器，机械手真空传感器，晶片预对准摆放传感器及量测台真空传感器连接至可编程逻辑器件的输入端，并且该可编程逻辑器件的输出端连接至指示装置。本实用新型使工作人员能更直观地了解到晶片量...
该专利属于和舰科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和舰科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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