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本申请提出了一种PECVD镀膜系统，包括第一沉积腔，用于放置装载有硅片的石墨舟；石墨舟包括沿着第一方向依次排列设置的多个舟片，舟片的表面与第二方向平行，硅片沿第二方向依次装载于相邻舟片之间；第一方向和第二方向相交；第一沉积腔还设置有进气件、...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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