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互补型场效应晶体管和反相器电路制造技术
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文档序号:44958598
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本申请涉及集成电路器件技术领域,公开一种互补型场效应晶体管和反相器电路,其中,互补型场效应晶体管包括:P型隧穿场效应晶体管,包括N型掺杂源区、第一pocket层、第一体区、第一栅极、第一氧化层、P型掺杂漏区;N型隧穿场效应晶体管,包括P型掺...
该专利属于紫光同芯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过紫光同芯微电子有限公司授权不得商用。
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