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本公开提供了一种晶圆盒清洗前的检测方法和设备，该检测方法包括：在晶圆盒被清洗之前，采集所述晶圆盒的内部图像；基于所述晶圆盒的内部图像判定所述晶圆盒是否为异常状态；当所述晶圆盒被判定不为异常状态时，将所述晶圆盒转移至晶圆盒清洗设备。...
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