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本技术涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片加工用定位工装，定位台顶部横向分布有一长条状的支承座，支承座顶部由左至右均匀分布有若干个弧形固定夹紧件，若干个对应分布于相邻弧形固定夹紧件之间的弧形移动夹紧件，若干个硅片下边缘对应夹紧于相邻弧形固...
该专利属于上海容道社半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海容道社半导体科技有限公司授权不得商用。

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