温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供了一种衍射光波导。衍射光波导包括:基底;耦出刻蚀光栅区,耦出刻蚀光栅区设置在基底上;压印层,压印层和耦出刻蚀光栅区位于基底的同一侧表面上,且耦出刻蚀光栅区被压印层填充包覆,压印层远离基底的一侧表面具有耦入压印光栅区,耦出刻蚀光栅区...该专利属于舜宇奥来微纳光学(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过舜宇奥来微纳光学(上海)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供了一种衍射光波导。衍射光波导包括:基底;耦出刻蚀光栅区,耦出刻蚀光栅区设置在基底上;压印层,压印层和耦出刻蚀光栅区位于基底的同一侧表面上,且耦出刻蚀光栅区被压印层填充包覆,压印层远离基底的一侧表面具有耦入压印光栅区,耦出刻蚀光栅区...