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本发明提供了用于半导体加热盘的调平装置及加热盘调平方法。所述调平装置包括调平座、固定座、至少一个固定连接组件及至少两个调平组件；所述至少一个固定连接组件将所述调平座固定连接在所述固定座上；所述至少两个调平组件中的每一个包括调平螺钉、锁紧螺母...
该专利属于拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司授权不得商用。

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