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本公开提供了一种晶圆级封装电场传感器、电场检测方法、制备方法及传感器，应用于电场传感器技术领域。该晶圆级封装电场传感器包括：衬底用于支撑敏感结构和晶圆级封装盖板；敏感结构通过锚点固定在衬底的上方，敏感结构包括电场感应电极单元和位移参考电极单...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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