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本发明公开了一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器及其制备方法和应用，属于柔性压力传感器的技术领域。该方法先将离子液与丙烯酸甲酯混合，加入交联剂与紫外光引发剂搅拌后，得到离子凝胶前驱体；然后采用等离子体干法刻蚀SiO<subgt;...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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