一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器及其制备方法和应用技术

本发明专利技术公开了一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器及其制备方法和应用，属于柔性压力传感器的技术领域。该方法先将离子液与丙烯酸甲酯混合，加入交联剂与紫外光引发剂搅拌后，得到离子凝胶前驱体；然后采用等离子体干法刻蚀SiO<subgt;2</subgt;层，制备硅金字塔模板；最后通过旋涂光刻胶并控制离子凝胶和光刻胶的紫外曝光时间，在不需要额外的交联剂或表面处理就能够对异质材料进行界面粘附，得到具有稳固界面的压力传感器。本发明专利技术采用二次曝光实现界面粘附，使得受压过程中离子凝胶与ITO下电极的接触面积改变量减小，能量耗散降低导致压力传感器实现低回滞的压容响应。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于柔性压力传感器的，尤其涉及一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器及其制备方法和应用。

技术介绍

1、随着可穿戴设备和柔性电子器件的迅速发展，以及应用场景的不断丰富，对器件本身可靠性和鲁棒性提出来更高的要求。针对于柔性压力传感器而言，虽然通过结构设计和材料创新，灵敏度和压力检测范围得到大幅改善，但常用的经典三明治结构简单堆叠，界面贴合不牢，容易产生脱落错位造成功能失效。

2、目前采用的主要解决办法是通过硅烷偶联剂进行界面改性，或加入交联分子等过程进行界面粘附。但这些方法存在操作繁琐，材料选择受限等问题。如何通过简化的制备工艺，针对异质材料，实现具有稳固界面粘附的压力传感器，是一个重要挑战。

技术实现思路

1、本专利技术的第一目的在于，公开了一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，能够在不需要额外的交联剂或表面处理的前提下就能够对异质材料进行界面粘附。

2、本专利技术的第二目的在于，提供一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器，能量耗散降低导致压力传感器实本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，其特征在于，将离子液与丙烯酸甲酯混合，加入交联剂与紫外光引发剂搅拌后，得到离子凝胶前驱体；采用等离子体干法刻蚀SiO2层，制备硅金字塔模板；通过旋涂光刻胶并控制离子凝胶和光刻胶的紫外曝光时间，在不需要额外的交联剂或表面处理就能够对异质材料进行界面粘附，最终得到具有稳固界面的压力传感器。

2.根据权利要求1所述的具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，其特征在于，所述离子液的主要成分为BMIM+和SPA-；所述离子液是以1-丁基-3-甲基咪唑氯化物与甲基丙烯酸3-磺酸丙酯钾盐为原料，混合后加入四甲氧基苯酚并溶于...

【技术特征摘要】

1.一种具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，其特征在于，将离子液与丙烯酸甲酯混合，加入交联剂与紫外光引发剂搅拌后，得到离子凝胶前驱体；采用等离子体干法刻蚀sio2层，制备硅金字塔模板；通过旋涂光刻胶并控制离子凝胶和光刻胶的紫外曝光时间，在不需要额外的交联剂或表面处理就能够对异质材料进行界面粘附，最终得到具有稳固界面的压力传感器。

2.根据权利要求1所述的具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，其特征在于，所述离子液的主要成分为bmim+和spa-；所述离子液是以1-丁基-3-甲基咪唑氯化物与甲基丙烯酸3-磺酸丙酯钾盐为原料，混合后加入四甲氧基苯酚并溶于丙酮中获得。

3.根据权利要求1所述的具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，其特征在于，所述离子液与丙烯酸甲酯的质量比为1:3。

4.根据权利要求1所述的具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，其特征在于，所述交联剂为hdda，所述紫外光引发剂为tpo；交联剂摩尔比例为2.5%；紫外光引发剂摩尔比例为0.5%。

5.根据权利要求1所述的具有稳固界面粘附低回滞电容型压力传感器的制备方法，其特征在于，采用等离子体干法刻蚀sio2层制备硅金字塔模板的方式为：以rpn1150...

【专利技术属性】
技术研发人员：周钰凯，姜永昌，潘力佳，程文，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：