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本发明公开了一种超薄石英晶片刻蚀工艺,包括:主体单元,包括工作器,工作器上固定设有固定板,固定板上开设有螺纹槽,工作器上固定设有连接架,连接架上设置有连接带,工作器内固定设有第一电机,工作器上固定设有固定盘,固定盘上开设有工作槽,本发明通过...该专利属于菲特晶(南京)电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过菲特晶(南京)电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种超薄石英晶片刻蚀工艺,包括:主体单元,包括工作器,工作器上固定设有固定板,固定板上开设有螺纹槽,工作器上固定设有连接架,连接架上设置有连接带,工作器内固定设有第一电机,工作器上固定设有固定盘,固定盘上开设有工作槽,本发明通过...