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本技术涉及半导体制造加工技术领域，且公开了一种具有收集结构的清洗设备，包括清洗箱，清洗箱内部设置有滤网，清洗箱侧壁铰接有箱门，清洗箱内部设置有清洗结构，清洗结构包括：中空轴、清洗架、喷头、单向阀、水箱、通液管、电机、主动轮、从动轮，然后使用...
该专利属于扬州国润半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州国润半导体科技有限公司授权不得商用。

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