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本发明提供一种基于3D模型关系的OCD测量方法，包括：采集显微镜在不同高度时3D量测对象的平面量测结果，每个平面量测结果对应一个取图序号；建立平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系；根据所述平面量测结果、取图序号和3D量测对象的...
该专利属于中导光电设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中导光电设备股份有限公司授权不得商用。

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