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本申请涉及一种氮化铝提纯用烧结装置及其提纯方法，提供一种氮化铝提纯用烧结装置，其包括炉体，所述炉体内设置有多层保温层，中心设置有生长腔室，所述生长腔室中心设置有用于存放原料的坩埚，所述坩埚顶部设置有盖体，所述坩埚内部和炉体内连通，所述生长腔...
该专利属于辽宁盛晶源半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁盛晶源半导体科技有限公司授权不得商用。

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