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根据本说明书的一实施例的半导体工艺用抛光组合物包含抛光粒子、聚氧化亚烷基系表面活性剂及以下化学式1的偏斜(skew)抑制剂。聚氧化亚烷基系表面活性剂的亲水亲油平衡(Hydrophile‑Lipophile Balance，HLB)值为13以...
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