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本发明提供一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头，包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组和第四透镜组，所述第一透镜组包括按照光线射入方向顺序设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜组中各透镜的光焦度依次为：第一透镜的光焦度为正...
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