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本发明提供一种基于微纳可形变结构的椭偏仪，基于微纳可形变结构的超表面不仅可以将椭偏仪缩小至亚像素级别，且当微纳可形变结构在空间中大量集成，可以以成像的形式获得整个被测材料的被测面的参数，突破传统椭偏仪仅能单点测量的局限性；也就是说，本发明可...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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