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本申请涉及一种晶圆盒干燥装置及晶圆盒处理设备。包括：箱体，具有在第一方向的一端开设的第一开口；箱盖，盖合在第一开口上，以与箱体围设成一容置腔；容置腔用于容置分离后的盒体和盒盖；其中，在干燥的情况下，容置腔为真空环境，盒盖可拆卸的固定在箱盖的...
该专利属于江苏芯梦半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯梦半导体设备有限公司授权不得商用。

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