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薄膜晶体管及其制造方法技术
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文档序号:4492946
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薄膜晶体管,其设置有以下各元件:源电极、漏电极和栅电极三个电极;沟道层;和栅绝缘膜,其中至少所述沟道层由包括铟的金属氧化物膜制成。由此,可以获得薄膜晶体管,其可制造在高聚合物基材上的元件而不施加高温工艺,并且其能够以低成本实现高性能和高可靠...
该专利属于株式会社普利司通所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社普利司通授权不得商用。
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