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一种陶瓷热沉表面多层金属化制备方法技术
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文档序号:44929209
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本发明提供了一种陶瓷热沉表面多层金属化制备方法,该方法包括通过等离子体增强化学气相沉积在陶瓷基板表面沉积一层硅基化合物薄膜,以提供强附着力基础,减少金属层脱落或剥离的风险;通过分子束外延沉积钛金属层,并在钛金属表面沉积纳米量子点结构,增强金...
该专利属于镇江晶鼎光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江晶鼎光电科技有限公司授权不得商用。
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