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本发明提供了晶圆翘曲度的检测装置、加工设备、方法及存储介质。检测装置包括：单色光源用于提供检测光束。至少三个半反半透镜用于获取检测光束，并将其反射到对应的反光镜，再将检测光束传输到对应的光纤和下一个半反半透镜。至少三个反光镜分别用于检测光束...
该专利属于拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司授权不得商用。

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