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本发明公开了一种激光诱导等离子体沉积多孔碳薄膜的方法和应用，涉及飞秒激光微纳加工技术领域。本发明将载体、聚酰亚胺薄膜和基底由下至上重叠设置组成三明治结构；聚酰亚胺薄膜和基底之间设有间隙，间隙的宽度为25μm；调试飞秒激光的参数为波长1028...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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