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本申请涉及晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆缺陷检测载台及其使用方法，包括载物台、两个升降组件和两个连接组件；两个升降组件位于载物台的两侧，各个升降组件上均设置有升降端；一个连接组件中，其第一端与一个升降组件的升降端铰接，其第二端与载物台沿第...
该专利属于万华化学集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团股份有限公司授权不得商用。

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