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本发明公开了一种用于光学检测的晶圆支撑装置及其薄膜沉积设备，用于光学检测的晶圆支撑装置包括：至少部分伸入工艺腔室的顶针，嵌设于顶针内的光纤束以及连接于光纤束的端部的信号发射器和信号接收器，顶针内设有沿长度方向延伸的通孔，光纤束嵌设于所述通孔...
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